◆DPLM系列性能優(yōu)異,模組具有持續(xù)、可靠的
◆運動性能,運動精度可以達到200nm。
◆性能高,最小增量運動為100nm
◆非接觸直接驅(qū)動系統(tǒng),精度高、動態(tài)性能
◆優(yōu)異且操作可靠
◆行程范圍:60mm-549mm