納米級(jí)模組XYZ
不同尺寸的納米級(jí)平臺(tái)可組成高精密的納米級(jí)模組，
并能提供優(yōu)異的穩(wěn)定性和可靠性。
如DNT-350-50-50為最苛刻的應(yīng)用提供高精度運(yùn)動(dòng)。
由兩個(gè)DNT130L-50模組和一個(gè)DNT180L-350模組組成的組件，
該組件提供3個(gè)軸(XYZ)的運(yùn)動(dòng)，可用于聚焦、傳感器測(cè)試/校準(zhǔn)、直接激光光刻和精密組裝等應(yīng)用