◆DNT系列性能卓越,模組具有持續(xù)、可靠的運動性能,
◆重復(fù)定位精度達±50nm,運動精度可以達到100nm。
◆性能高,最小位移增量運動為 100nm
◆非接觸直接驅(qū)動系統(tǒng),精度高、動態(tài)性能優(yōu)異且操作可靠
◆結(jié)構(gòu)輕巧無鐵芯高效率線性電機可適合各種場合
◆采用超靜音耐腐蝕交叉滾柱軸承,使其性能更加優(yōu)異
◆DNT納米級模組是激光微加工、標記、切割和納米圖案形成等應(yīng)用的理想模組。
◆行程范圍:50mm-350mm