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DPLM56/DPLM56S

◆DPLM系列性能優(yōu)異,模組具有持續(xù)、可靠的

◆運(yùn)動性能,運(yùn)動精度可以達(dá)到200nm。

◆性能超高,最小增量運(yùn)動為100nm

◆非接觸直接驅(qū)動系統(tǒng),精度超高、動態(tài)性能

◆優(yōu)異且操作可靠

◆行程范圍:60mm-549mm