◆DPLM系列性能優(yōu)異,模組具有持續(xù)、可靠的
◆運(yùn)動(dòng)性能,運(yùn)動(dòng)精度可以達(dá)到200nm。
◆性能高,最小增量運(yùn)動(dòng)為100nm
◆非接觸直接驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),精度高、動(dòng)態(tài)性能
◆優(yōu)異且操作可靠
◆行程范圍:60mm-620mm