◆定位精度補(bǔ)償后可達(dá)4μm,重復(fù)定位精度最高可達(dá)±1μm;
◆速度最高可達(dá) 3.5m/s ;
◆用于激光切割設(shè)備、AOI檢測(cè)設(shè)備、激光直接成像(LDI)、異插、貼輔料、點(diǎn)膠等高精密設(shè)備;
◆可根據(jù)客戶要求定制。