◆Planar系列采用自主研發(fā)的無鐵芯線性電機，效率高、速度快、高精度。
◆適用于醫(yī)藥行業(yè), 激光切割, 生物技術, 計量, 激光打標等領域。
◆節(jié)省空間，重量輕巧的XY平臺
◆高精度，低噪音
◆最小位移增量100nm
Planar系列
